Imec in Leuven heeft deze week een nieuwe chipmachine van circa 400 miljoen euro in de cleanroom gereden. De lithografietool is gebouwd door ASML uit Veldhoven en is bedoeld voor onderzoek naar snellere en zuinigere chips. De installatie markeert een volgende stap in de Europese chip-innovatie. Het project past in de ambitie om productie en kennis in de EU te versterken.
High-NA EUV komt naar Leuven
De nieuwe machine is een zogeheten EUV-lithografietool met hoge numerieke apertuur, ook wel High-NA genoemd. Daarmee kunnen chipstructuren fijner en nauwkeuriger worden geprojecteerd. Imec gebruikt het systeem om processen en materialen voor de volgende chipgeneratie te testen. Bedrijven en onderzoeksinstellingen sluiten zich aan in gezamenlijke programma’s.
Het gaat om een investering op Europese schaal, met een hoofdrol voor ASML. Het bedrijf levert de tool, terwijl tientallen leveranciers submodules en software aanleveren. De machine vraagt een trillingsvrije vloer en veel stroom en koeling. De cleanroom in Leuven is hierop aangepast.
High-NA EUV is lithografie met extreem ultraviolet licht en een grotere lensopening. Daardoor kun je kleinere patronen op een chip tekenen.
Met de installatie kan imec eerder in de keten fouten opsporen en productie-instellingen verfijnen. Dat verkort de tijd naar massaproductie bij chipfabrieken. Partners krijgen testtijd op de tool voor eigen processtappen. Dat versnelt de stap van lab naar fabriek.
Kansen voor Nederlandse toeleveranciers
Voor Nederlandse ondernemers in de hightechketen ontstaan nieuwe opdrachten. Denk aan precisieonderdelen, mechatronica, metrologie en software rond de machine. Bedrijven uit Brainport Eindhoven, zoals VDL ETG, Prodrive en Demcon, leveren vaak onderdelen en diensten in dit domein. Ook ASM International en BE Semiconductor Industries profiteren van een sterkere Europese chip-ecosysteem.
Toegang tot een High-NA-omgeving bij imec maakt het eenvoudiger om innovaties te kwalificeren. Leveranciers kunnen modules en meetmethoden eerder valideren. Dat verlaagt risico’s bij klanten en verkort verkoopcycli. Het vergroot bovendien de zichtbaarheid bij internationale chipmakers.
Financiering blijft wel een drempel voor mkb’ers die willen opschalen. In Nederland zijn RVO-instrumenten zoals WBSO (loonbelastingkorting voor R&D) en MIT-regeling beschikbaar. Europees zijn er kansen via Horizon Europe en het EIC Accelerator. Deze subsidies kunnen de stap naar certificering en eerste klanten helpen dragen.
EU Chips Act geeft rugwind
De EU Chips Act wil het Europese marktaandeel in halfgeleiders richting 20 procent brengen in 2030. Onder deze vlag worden pilotlijnen en opleidingsprogramma’s gesteund. De High-NA-infrastructuur bij imec past in dat beleid. Lidstaten mogen gericht staatssteun geven binnen Europese regels.
Vlaanderen en België investeren al jaren in imec als speerpunt. Nederland profiteert indirect via ASML en de toeleverketen. De Europese Commissie keurde eerder IPCEI-projecten voor micro-elektronica goed. Daarmee krijgen projecten die van “gemeenschappelijk Europees belang” zijn extra ruimte voor financiering.
Voor bedrijven betekent dit meer voorspelbare testcapaciteit in Europa. Contractonderzoek en gedeelde pilotlijnen verlagen de kosten per experiment. Dat is belangrijk nu kapitaalintensieve tools duurder worden. Op het moment van schrijven kost één High-NA-systeem ongeveer 400 miljoen euro.
Toegang en gebruik van de tool
Imec werkt met consortia waarin chipmakers, toeleveranciers en start-ups samenwerken. De toegang is meestal gekoppeld aan lidmaatschap of een onderzoekscontract. Tijd op de tool wordt strak ingepland. Dat bewaakt zowel kwaliteit als intellectueel eigendom.
Afspraken over kennisdeling en patenten zijn vastgelegd in contracten. Zo blijft duidelijk wie welke vinding mag gebruiken. Gegevens uit metingen worden vertrouwelijk behandeld. Dat is essentieel voor concurrentiepositie en naleving van afspraken met partners.
Ook kleinere bedrijven kunnen aansluiten via specifieke programma’s en servicekanalen. Zij testen dan bijvoorbeeld meetopstellingen, fotolak of software voor procescontrole. De drempel ligt lager dan bij een eigen aanschaf. Toch blijven voorbereiding, training en kwaliteitsprocedures verplicht.
Logistiek, energie en risico’s
Het plaatsen van zo’n machine is een logistieke operatie met vele transporten en installatiedagen. Een stabiele stroomvoorziening en koeling zijn cruciaal. Energie-efficiëntie weegt zwaar door stijgende kosten en duurzaamheidsdoelen. Onderdelen worden regelmatig geüpdatet om prestaties te verbeteren.
De vraag naar gespecialiseerd personeel blijft hoog. Europese initiatieven, zoals een Chips-skillsagenda en nationale human-capitalprogramma’s, moeten hierbij helpen. In Nederland sluiten onderwijs en bedrijven aan via de HTSM-agenda. Omscholing en praktijkonderwijs zijn belangrijk om posities te vervullen.
Bedrijven houden rekening met exportregels voor geavanceerde chiptechniek buiten de EU. Ook de cyclische chipmarkt kan investeringen schommelend maken. Door gedeelde R&D-infrastructuur blijven risico’s beheersbaar. Zo blijft Europa aantrekkelijk voor langdurige investeringen in innovatie.